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  • 产品名称：日本FLOURO福乐非接触式用于输送Bernoulli卡盘

  • 产品型号：BC-K6-300
  • 产品厂商：日本FLOURO 福乐
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简单介绍：
300 微米或更小的晶圆搬运 自适应晶圆尺寸：6 英寸 8英寸 12 英寸
详情介绍：
  • 主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
    （使用角度为固定角度，不更换主机就无法改变使用角度。
  • 导向挡块具有柔和的锥度，以便晶圆边缘与点接触。
  • 由防静电聚碳酸酯制成的导向环可以进行目视定位，并且可以检查吸入状态。
  • 由于主体使用导电尼龙树脂，减轻了重量。
  • 两面都有图案印刷，可以处理难以处理的薄至 50 μm 的晶圆。
  • 我们还支持定制产品，例如与对象匹配的方形。
  • 平面贴装时:300 微米或更小

    平面贴装时：300 微米或更小

    平置き用 300ミクロン以下対応 製品画像
    材料
    本体：导电 MC 尼龙
    导向环：防静电聚碳酸酯
    附属品
    导电管 6×4 （1.5m）
    使用角度
    20° / 45° / 90°
    自适应晶圆尺寸 代号 气压 （MPa） 重量 （g）
    6 英寸 BC-K6-300型 0.15 170
    8 英寸 BC-K8-300型 0.2 220
    12 英寸 BC-K12-300 系列 0.35 430

    晶圆非接触式输送 Bernoulli Chuck BC 系列 工作原理

    ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理 イメージ画像

    当将晶圆放置在导环的四个白色引脚内并按下启动按钮时，晶圆会上升到中心并向中心移动。 之后，用黑色方针固定，可以无接触运输。

    晶圆非接触式传输伯努利卡盘 BC 系列产品概述

    ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要 角度説明の画像

    ◆ 从使用角度为 20 度、45 度和 90 度的三个点中选择主体。 通过更换导环，可以支持各种晶圆。 导环也可以很容易地更换。