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日本OTSUKA大塚电子显微涂层测厚仪OPTM-A3

日期：2025-04-05 07:26
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摘要：日本OTSUKA大塚电子显微涂层测厚仪OPTM-A3
OPTM 是一种通过使用显微光谱测量微小区域的**反射率来实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。
它可以以非破坏性和非接触的方式测量各种薄膜、晶圆和光学材料等镀膜以及多层薄膜的厚度。 测量时间为 1 秒/点，属于高速测量。 此外，它还配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。

规格
类型 OPTM-A1 型 OPTM-A2 系列 OPTM-A3 系列
波长范围 230~800 纳米 360~1100 纳米 900~1600 纳米
厚度范围*1 1 纳米~35 微米 7 纳米~49 微米 16 纳米~92 微米
样本量*2 *大 200×200×17 毫米
光斑直径 φ5、φ10、φ20、φ40 微米

* 上述规格具有自动 XY 载物台。

*1 薄膜厚度范围为 SiO2它将被转换。

*2 300 mm 载物台请单独联系我们。


 

类型 自动 XY 载物台型 固定框架类型 内置头型
尺寸（
宽×深×高） 		556×566×618 毫米 368×468×491 毫米 210×441×474 毫米
90×250×190 毫米*
重量 66 千克 38 千克 23 公斤
4 公斤*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*AC/DC 电源单元

 

配置图

OPTMの構成図（自動XYステージタイプ）


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