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  • 产品名称：日本FLOURO 福乐用于半导体制造厂真空泵FV-60 FV-XP

  • 产品型号：FV-30
  • 产品厂商：日本FLOURO 福乐
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简单介绍：
通过将隔膜安装在封闭空间中，可以分两个阶段降低压力，并且由于它具有串联结构，因此我们实现了一种机构，可以获得大约是FV-30两倍的流量。 HEPA过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外，从主体的透明窗口可以看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。 处理范围相当于硅晶圆，限制为 12 英寸。 管子可用于 Φ3×5、Φ4×6 尺寸。 所含管为Φ3×5。
详情介绍：