当将晶圆放置在导环的四个白色引脚内并按下启动按钮时,晶圆会上升到中心并向中心移动。 之后,用黑色方针固定,可以无接触运输。
◆ 从使用角度为 20 度、45 度和 90 度的三个点中选择主体。 通过更换导环,可以支持各种晶圆。 导环也可以很容易地更换。