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  • 产品名称：日本FLOURO福乐非接触式伯努利卡盘6英寸

  • 产品型号：BC-P6-300
  • 产品厂商：日本FLOURO 福乐
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简单介绍：
主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。 6英寸8英寸12 英寸
详情介绍：

晶圆非接触式转移伯努利卡盘 BC 系列的特点

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長1 製品画像
  • 主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
    （使用角度为固定角度，不更换主机就无法改变使用角度。
  • 导向挡块具有柔和的锥度，以便晶圆边缘与点接触。
  • 由防静电聚碳酸酯制成的导向环可以进行目视定位，并且可以检查吸入状态。
  • 由于主体使用导电尼龙树脂，减轻了重量。
  • 两面都有图案印刷，可以处理难以处理的薄至 50 μm 的晶圆。
  • 我们还支持定制产品，例如与对象匹配的方形。
ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長 製品画像2

由于伯努利卡盘是在高压下使用的，因此出于**原因，建议以与  相同的方式将按钮朝下使用。 （见左图。 ）

要使用伯努利卡盘，您需要一台压缩机和一个油箱为 9 升或更高的调节器。


对于 protoss 载体：300 微米或更小

プロトスキャリア用 300ミクロン以下対応 製品画像
材料
本体：导电 MC 尼龙
导向环：防静电聚碳酸酯
附属品
导电管 6×4 （1.5m）
使用角度
45° / 90°
自适应晶圆尺寸 代号 气压 （MPa） 重量 （g）
6 英寸 BC-P6-300 0.15 180
8 英寸 BC-P8-300 0.2 240
12 英寸 BC-P12-300 0.35 450

晶圆非接触式输送 Bernoulli Chuck BC 系列 工作原理

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理 イメージ画像

当将晶圆放置在导环的四个白色引脚内并按下启动按钮时，晶圆会上升到中心并向中心移动。 之后，用黑色方针固定，可以无接触运输。

晶圆非接触式传输伯努利卡盘 BC 系列产品概述

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要 角度説明の画像

◆ 从使用角度为 20 度、45 度和 90 度的三个点中选择主体。 通过更换导环，可以支持各种晶圆。 导环也可以很容易地更换。