产品详情
简单介绍：
运行安静 紧凑且真空压力高 清洁排气
处理范围从低于自身重量的物体到相当于硅晶片的 4 英寸
详情介绍：
FV-XP 型
- 通过将隔膜安装在封闭空间内，压力分两段降低，结构串联，因此我们实现了一种机构，可以获得大约 FV-30 两倍的真空压力。
- HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外，可以从主体的透明窗口看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。
- 处理范围相当于硅片，限制为 12 英寸。
- 管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
- 随附的管子为 Φ3×5。
| 法典 | FV-XP 型 |
| 名字 | 真空泵 FV-XP |
| 额定电压 | 交流-100V（50Hz） |
| 功耗 | 10.0 瓦 |
| 极限吸入压力 | -60kPa |
| 流量 | 5.0 升/分钟 |
| 大小 | 长 137 × 宽 88× 高 133 （mm） |
| 质量 | 1.250 克 |
| 续航时间 | 超过 9,000 小时 |
| 工作极限温度 | 40°C |
| 附属品 | 1 个 L 形接头/管 3×5 个 1m |