Fluoromechanic 小型真空泵的特点
我们的真空泵设计为在紧凑的机身中提供高真空压力。 产品阵容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四种类型,活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场。 ([带吸出功能的真空泵 FV-W] 非常适合输送微小物品,可与我们的真空镊成套使用。 点击这里了解详情)
紧凑且真空压力高
由于隔膜安装在封闭空间内,可分多级降低压力,因此我们实现了一种可以在紧凑的机身中获得高真空压力的机构。 (不包括 FV-10)
使用寿命长,免维护
由于电磁驱动造成的机械磨损和接触很少,因此几乎不需要维护,是一种长寿命型,可以使用到隔膜耐久性的理论值。
清洁排气
HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。
此外,可以从主体的透明窗口看到过滤器,因此您可以知道何时更换它。 (不包括 FV-10)
静音设计,静音性高
由于本体是结构密封的,因此运行噪音很安静。
此外,与电机类型相比,没有机械接触噪音,可以保持安静。
灵活的规格
由于它不需要压缩机等气源,因此只要有 100V 插座,就可以在任何地方使用。
此外,与我们的真空镊子相结合,扩大了使用范围。
物有所值
与同类真空泵相比,简化的结构确保了在可靠性、使用寿命和功耗方面的**性能。
此外,现在可以以低价提供主单价。
FV-10



- 由于它储存在由高声学材料制成的容器中,因此运行安静。 此外,与电机类型相比,没有机械接触噪音,可以保持安静。
- 磁铁和变压器之间的距离可以通过刻度盘来增加或减少压力。
- 排气段配有毛毡过滤器。
- 处理范围从低于自身重量的物体到相当于硅晶片的 4 英寸。
- 管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
- 随附的管子为 Φ3×5。
法典 | FV-10 |
名字 | 真空泵 FV-10 |
额定电压 | 交流-100V(50Hz) |
功耗 | 5.0瓦 |
极限吸入压力 | -3~-14 kPa (无级调节) |
流量 | 2.8 升/分钟 |
大小 | 长 155× 宽 72× 高 61 (mm) |
质量 | 600 克 |
续航时间 | 超过 9,000 小时 |
工作极限温度 | 40°C |
附属品 | 管 3×5 1m |
绘图 | 查看图纸 |
注 1:泵的流量和极限吸入压力值以 50 Hz 表示。 当在 60 Hz 下使用时,它减少了约 20%。
*此数据仅供日本国内使用。
FV-30 系列



- 通过将隔膜安装在封闭空间内,分两段降低压力,并联结构,因此实现了可以获得比 FV-10 更高的真空压力的机构。
- HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外,可以从主体的透明窗口看到过滤器,因此您可以知道何时更换它。
- 处理范围从低于自身重量的物体到相当于硅晶片的 8 英寸。
- 管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
- 随附的管子为 Φ3×5。
法典 | FV-30 系列 |
名字 | 真空泵 FV-30 |
额定电压 | 交流-100V(50Hz) |
功耗 | 5.0瓦 |
极限吸入压力 | -50 百帕斯卡 |
流量 | 2.5 升/分钟 |
大小 | 长 137× 宽 88× 高 85 (mm) |
质量 | 800 克 |
续航时间 | 超过 9,000 小时 |
工作极限温度 |
40°C |
附属品 |
1 个 L 形接头/管 3×5 个 1m |
绘图 | 查看图纸 |
注 1:泵的流量和极限吸入压力值以 50 Hz 表示。 当在 60 Hz 下使用时,它减少了约 20%。
*此数据仅供日本国内使用。