产品详情
简单介绍：
Fluoromechanic 小型真空泵的特点
我们的真空泵设计为在紧凑的机身中提供高真空压力。 产品阵容包括 FV-10、FV-30、FV-60 和 FV-XP 四种类型，活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场。 （[带吸出功能的真空泵 FV-W] 非常适合输送微小物品，可与我们的真空镊成套使用。 点击这里了解详情）
紧凑且真空压力高
由于隔膜安装在封闭空间内，
详情介绍：
FV-60 系列
- 通过将隔膜安装在封闭空间内，压力分两阶段降低，并且由于它具有串联结构，我们实现了一种可以获得大约 FV-30 两倍的流量的机构。
- HEPA 过滤器安装在进气和排气部分。 它也可以用于洁净室。 此外，可以从主体的透明窗口看到过滤器，因此您可以知道何时更换它。
- 处理范围相当于硅片，限制为 12 英寸。
- 管子有 Φ3×5、Φ4×6 两种尺寸。
- 随附的管子为 Φ3×5。
| 法典 | FV-60 系列 |
| 名字 | 真空泵 FV-60 |
| 额定电压 | 交流-100V（50Hz） |
| 功耗 | 10.0 瓦 |
| 极限吸入压力 | -85kPa |
| 流量 | 2.5 升/分钟 |
| 大小 | 长 137 × 宽 88× 高 133 （mm） |
| 质量 | 1.250 克 |
| 续航时间 | 超过 9,000 小时 |
| 工作极限温度 | 40°C |
| 附属品 | 1 个 L 形接头/管 3×5 个 1m |
| 绘图 | 查看图纸 |
注 1：泵的流量和极限吸入压力值以 50 Hz 表示。 当在 60 Hz 下使用时，它减少了约 20%。
*此数据仅供日本国内使用。